Isothermal Furnace Liners (IFLs) sind ringförmige Flüssigmetall-Wärmerohre, die eine gleichmäßige Temperatur-Arbeitsumgebung bieten. IFLs der Boyd Corporation sparen Zeit und Energie und maximieren gleichzeitig die Produktivität, indem sie eine isotherme Wandtemperatur erreichen. Ohne bewegliche Teile ist der IFL einfach zu installieren, bietet Designflexibilität und ist äußerst zuverlässig und kosteneffektiv. Im Unterschied zu Sonden ist der IFL nicht auf Wärmeübertragungswege angewiesen, die mit umgebenden Wänden oder der Außenumgebung verbunden sind.
In den meisten Anwendungen bieten Boyd IFLs eine einzige einheitliche Temperaturzone mit einer einzigen Heizung und einem einzigen Regler. Für mehrere, individuell gesteuerte Zonen oder Schrittänderungen im Temperaturprofil können zwei oder mehr IFLs in Reihe verwendet werden. Die Temperatureinstellung ist ein einfacher einstufiger Prozess und häufige Profilmessungen sind nicht erforderlich.
Die überlegene Temperaturgleichmäßigkeit von Isothermal Furnace Liners ist in exakten Prozessen wie Halbleiterkristallwachstum, Thermoelement- und Temperaturkalibrierung, Dampfabscheidung, schwarzen Körperheizkörpern, konzentrierten Solarempfängern erforderlich. und mehr. IFLs eignen sich hervorragend für Prozessrohre und Laboröfen in chemischen Verarbeitungs- und Forschungsanwendungen. Die gemessene räumliche Temperaturvariation in einer IFL beträgt weniger als 10 mK und kann in vielen Fällen die Empfindlichkeit der verfügbaren Messtechniken überschreiten.
Standard-IFL für den Betrieb bis 1.600 °C sind in verschiedenen Größen erhältlich, um für den horizontalen oder vertikalen Einsatz in herkömmliche Ofenbohrungen zu passen. Kundenspezifische IFL können für den Subumgebungs- und Kryobetrieb hergestellt werden. Die Größe und die Geometrie von IFL können an jede Anwendung angepasst werden.
Das Isothermal Processing Vessel (IPV) ist eine Erweiterung des Isothermal Furnace Liners, der seit 1971 Jahren an Halbleiterkristallanbauer und Kalibrierlaboratorien geliefert wird.
